近日，中国政府采购网公示信息显示，上海微电子装备（集团）股份有限公司成功中标步进扫描式光刻机采购项目，中标金额达1.1亿元，采购设备为一台SSC800/10型号步进扫描式光刻机。作为国内唯一的光刻机整机企业，上海微电子此次中标不仅彰显了其在国产光刻机领域的技术硬实力，更标志着国产高端半导体装备的产业化进程再获关键突破，为国内半导体产业链自主可控注入强劲动力。

        此次中标项目的核心设备——步进扫描式光刻机具有重要技术价值。该技术融合了扫描投影光刻与分步重复光刻的优势，通过动态同步移动掩膜版和晶圆实现曝光，可增大曝光场并一次性完成多个芯片的曝光，同时具备实时聚焦调节能力，适用于0.25μm以下的先进制造工艺，在0.18μm节点及更精密制程中应用广泛。据公开信息，上海微电子此次中标设备型号为SSC800/10，而其此前已实现90纳米光刻机的稳定量产，国内市场份额超80%，此次中标进一步验证了其在中高端光刻机领域的技术成熟度与市场认可度。

        上海微电子的持续突破离不开完善的产业链协同支撑。作为国产光刻机产业链的核心龙头，公司与福晶科技等关键部件供应商形成深度绑定，构建了从核心材料到整机制造的全链路自主体系。其中，福晶科技为其独家供应光场匀化器等曝光系统核心元件，以及KBBF等关键光学晶体材料，这些部件在光刻机光源系统中的价值占比超40%，直接决定设备的分辨率与产能。这种产业链协同模式不仅降低了海外技术封锁的影响，更推动了国产光刻机国产化率的持续提升，其2025年交付的28纳米浸没式光刻机国产化率已超70%。

        此次1.1亿元中标项目的落地，对国内半导体产业具有多重战略意义。从市场层面看，上海微电子近年来业绩与订单呈爆发式增长，2023年新增订单143亿元，2025年一季度营收同比增长482%，此次中标将进一步增厚公司业绩，加速产能释放。从产业层面看，国产光刻机的持续突破将为中芯国际、华虹半导体等头部晶圆厂提供设备支撑，缓解国内先进制程芯片制造对进口设备的依赖，尤其在功率半导体、汽车电子等成熟制程领域，可大幅降低企业采购成本，提升供应链稳定性。

        上海微电子此次中标1.1亿元光刻机项目，是国产半导体装备自主化进程中的重要里程碑。随着核心技术的持续突破与产业链协同的不断深化，国产光刻机将逐步打破海外垄断，为国内半导体产业的高质量发展提供核心支撑。未来，随着28纳米及更先进制程光刻机的商业化推进，国产半导体产业链的自主可控水平将进一步提升，为我国在全球半导体产业竞争中赢得更多主动权。